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为您讲授紧密蚀刻机喷头的感化及保护

前往列表 来历:华谊智能科技 宣布日期:2019-05-25 14:29:09 点击:

    蚀刻机喷头是蚀刻机喷淋装配中最首要的一个部件,药液喷淋的外形是按照蚀刻机喷头的品种来决议的,差别的蚀刻机喷头所起到的感化是不一样的。蚀刻机喷头的感化及保护

    蚀刻机喷头感化:
    首要感化是把蚀刻液平均的喷淋到工件上,蚀刻机喷头按照蚀刻机每道工序所对应的请求所挑选差别的品种。比方:惯例环境下蚀刻段挑选用扇形,由于蚀刻段对压力的请求比拟高,而咱们扇形喷嘴喷淋出的液体压力会绝对较高;显影段和退膜段咱们就接纳锥形喷嘴,由于这两处须要笼盖面广,而锥形喷嘴恰好就有这类特征。
    蚀刻机喷头的保护:
    蚀刻液是经由进程蚀刻机喷头顶真个小孔把药水给喷淋出来,这个小孔的直径是很小的,以是是很轻易梗塞的,而咱们的蚀刻液积淀物和侵蚀上去的残渣都是颗粒状的,利用的时候太长了这些固体颗粒物的构成就会梗塞喷头,以是咱们须要按期的清算蚀刻机的喷头能力到达杰出的侵蚀结果。
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